1、掃描電子顯微鏡的工作原理：掃描電子顯微鏡的制造依據(jù)是電子與物質(zhì)的相互作用。

(資料圖)

2、掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。

3、通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。

4、當(dāng)一束極細(xì)的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。

5、同時可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動（聲子)、電子振蕩（等離子體）。

6、擴(kuò)展資料：研發(fā)歷程：1873 Abbe 和Helmholfz 分別提出解像力與照射光的波長成反比。

7、奠定了顯微鏡的理論基礎(chǔ)。

8、1931德國物理學(xué)家Knoll 及Ruska 首先發(fā)展出穿透式電子顯微鏡原型機(jī)。

9、1938 第一部掃描電子顯微鏡由Von Ardenne 發(fā)展成功。

10、1959年第一臺100KV電子顯微鏡 1975年第一臺掃描電子顯微鏡DX3 在中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠（現(xiàn)北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司）研發(fā)成功。

11、參考資料來源：百度百科——掃描電子顯微鏡。

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